KURABO O3 产生机
Ozone generator 无声放电式臭氧(O3)产生机,搭配在LTPS的Etch 部门的微蚀刻清洗机以及Cell部门的PI配向,放电管(Ozonizer)的性能曲线,接触气体结构为高纯度石英。
Ozone generator 无声放电式臭氧(O3)产生机,搭配在LTPS的Etch 部门的微蚀刻清洗机以及Cell部门的PI配向,放电管(Ozonizer)的性能曲线,接触气体结构为高纯度石英。