e-square AP Plasma
大气压电浆清洁设备AP Plasma表面改質装置,在清洗设备上取代E-UV制程,提升Etching性能及下一道制程的密着性。有效去除表面有机污染层及基板精密干燥,提升洗净、精密洗净性能。
大气压电浆清洁设备AP Plasma表面改質装置,在清洗设备上取代E-UV制程,提升Etching性能及下一道制程的密着性。有效去除表面有机污染层及基板精密干燥,提升洗净、精密洗净性能。